【摘 要】
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射频开关是射频通信网络中最基本的器件之一，本文提出了一种新型基于硅衬底的新型射频微机械丌关，介绍了射频微机械开关的设计原理和器件结构，提出了器件的近似力学分析模型，分析和优化器件的插入损耗和驱动电压参数，介绍了器件的制作工艺，最后给出器件的测试结果。具体内容包括： 介绍了各种射频微机械器件，特别是射频微机械开关。通过与其他传统射频开关的比较，总结了射频微机械开关具有结构简单、插入损耗小、工艺
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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射频开关是射频通信网络中最基本的器件之一，本文提出了一种新型基于硅衬底的新型射频微机械丌关，介绍了射频微机械开关的设计原理和器件结构，提出了器件的近似力学分析模型，分析和优化器件的插入损耗和驱动电压参数，介绍了器件的制作工艺，最后给出器件的测试结果。具体内容包括： 介绍了各种射频微机械器件，特别是射频微机械开关。通过与其他传统射频开关的比较，总结了射频微机械开关具有结构简单、插入损耗小、工艺容差大、有利于降低成本和提高成品率等优势。基于此，我们在设计中采用了静电驱动式射频微
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