微米至百微米级厚度的微液膜在微纳制造、电子封装、丝网印刷等领域有广泛应用,目前离心旋涂是获得微液膜的主要途径。然而,当液膜的表观粘度超过1 Pa·s时,受液体添加物、基底-液体粘附作用、粘性力、初始液滴位置等影响,很难直接获得高平整度的液膜。而采用手工/半自动刮涂等进行二次修复,则存在效率低下、一致性差、容易污染等问题,会影响后续制造工艺的进行和最终的器件性能,亟待发展微液膜的平整化技术。本文选择微粘接工艺所用的高粘胶为对象,研究了基于极化静电力的高粘液膜整平方法,主要工作如下:建立了描述电场作用下高粘液膜流动的电场不可压缩粘性流体耦合理论模型,结合自由界面跟踪和自适应网格细化等策略,利用多物理场耦合计算软件COMSOL分析了电场力对液膜的作用机理,研究了外加电压、液膜和电极间距等参数与电场力的关系,以及对液膜流动的影响。以直角坐标精密机器人为基础平台,搭建了微量高粘度胶液平整实验装置,该实验装置主要由电极结构模块、载胶台模块、膜厚扫描测量模块等组成。在LABVIEW软件环境下,针对液膜的测量要求,开发了机器人扫描程序、激光三角测量传感数据自动处理程序、电场控制程序等,利用该实验装置可以实现液膜的平整度测量和电动整平功能。以高粘胶为对象,利用上述装置进行了离心液膜的整平实验,在MATLAB软件环境下编写了曲面拟合的程序,对不同拟合方法进行了对比,以拟合曲面的波峰均值与波谷均值的差作为胶面平整性的度量。设计分组实验通过对实验结果的分析,得到了电极间电压大小、电极间距等因素对胶膜平整度的影响规律,验证了基于电液动力学原理的胶膜整平方法的可行性。本方法具有实施简单、避免了接触式整平污染问题、提供可度量的评价标准等特点,为实现高粘液膜整平提供了新思路。