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本论文的主要工作是将正交正弦波细分驱动和连续跟踪控制算法相结合，着眼于提高系统的频响特性，设计适合微小数字伺服阀的步进电机驱动器的研究。微小流体控制系统由于其输出功率体积比大、重量轻、频率响应和精度高等特点，应用场合越来越多。电液伺服控制系统的性能好坏，一方面取决于伺服阀结构的本身，更重要的是取决于它的电-机械转换器性能的好坏。本文根据目前电-机械转换器的种类和特点，首次把步进电机正弦波细分驱动和连续跟踪控制算法相结合，设计了步进电机驱动器，运用到微型电液伺服控制系统中。实验证明，该方法