近十几年来，随着对航天器推进系统性能要求的不断提高，电推进以其独有优势引起了航天界的兴趣和重视，并且越来越多地被应用到空间任务中。微波等离子推力器(MPT)是一种电热型推力器，它具有比冲适中、寿命长、羽流污染小等优点，具有广阔的应用前景。固态源作为MPT的能量供给单元，是MPT关键部件之一，其效率高低也是衡量MPT总体性能的重要标志。 目前实验室现有的MPT微波源体积大、重量重，对MPT研究和性能提高起着制约作用。本论文在原有微波源的基础上，通过理论分析和实际设计，利用半导体器件研制出体积小、重量轻的100W MPT固态源，并在试验基础上对MPT系统效率进行了分析和估算。 本文的主要见解和工作为： 1、利用微波器件、电路、微波等有关知识，对固态源各组成部分进行了分析、比较和选取，确定了固态源的实现方案。微波发生器采用频率比较稳定的石英晶体振荡器，频率合成采用集成锁相环和分频器来完成，功率放大器采用了稳定性、性能较好的场效应管，固态源冷却采用了密闭水循环系统。 2、详细介绍了辅助微波器件的原理和性能，对电路和电路板进行了介绍、MPT选择，在此基础上研制出了符合要求的固态源实物，并对固态源进行了调试、标定和负载试验，解决和分析了实验过程中出现的一些问题和现象，并对实验结果进行了分析说明。 3、利用微波、电路及谐振腔等知识，分析了MPT系统微波传输效率，指出了固态源效率和MPT谐振腔耦合效率是影响MPT系统整体效率的主要因素之一，最后结合实验数据估算出MPT实际工作效率约为27％左右。 经过较长时间验证，研制的固态源能长时间稳定、可靠工作，性能良好，表明研制的固态源是可行的，另外MPT效率分析初步给出了影响效率的一些因素，这些都为进一步提高MPT性能奠定了基础。