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地球空间是人造地球卫星、载人航天器、航天飞机和空间站的飞行区域,是目前人类开发和利用太空资源、从事对地观测与太空科学实验、进行太空军事进攻与防御的主要活动领域。而在地球周围有一层厚度为10RE(RE为地球半径)的等离子体层,对其进行观测成像是进行地球空间磁层空间暴的触发机制和物理模型研究的主要手段,是进行精密磁暴预测、地球空间环境研究、空间天气预报、自然灾害预测的重要途径。 本文的目的在于研制用于探测地球等离子体中He++粒子谐振散射形成30.4nm极紫外光(EUV,extreme ultraviolet)的WSZ多阳极成像探测器。 本文首先分析了WSZ多阳极探测器的成像原理和特点,对WSZ多阳极探测器的关键器件,如MCP、光电阴极、WSZ多阳极面板等做了研究。 对影响探测器空间分辨率的因素、光子计数速度、MCP的电子弥散等关键问题进行理论分析,并在此基础上进行WSZ多阳极探测器的整体结构设计和局部设计。对探测器的需要解决的技术难题,如球面MCP、滤光镜、反射镜等进行调研。给出了完整的结构图和装配方案。 重点介绍了WSZ多阳极面板的设计和制作,L—Edit软件设计,微电子光刻工艺加工,光刻缝隙达到2μm,周期为1mm,能满足200×200分辨率的要求。设计了用于该探测器的快速三通道电荷放大电路和信号采集电路,以探测脉宽1~20ns、总电荷量1~20pC的电子脉冲。并在真空条件下使用紫外光源对电路进行模拟实验,获得了峰值大小与阳极面板面积成比例的、噪声范围在10mv以内的三路脉冲信号。最后,对下一步的工作给出了一些建议。