慢光波导是一种可以控制光波传输群速度的波导结构,由于光群速度的减慢等效于波矢空间光子态密度的增加,慢光技术在光信号处理、非线性光电子器件以及光子集成技术中有着重要的应用。本论文以实现可集成的慢光波导为目标,研究利用SOI平板光子晶体波导中的异常色散效应实现慢光。就结构设计、制备工艺、测试方法、慢光延时应用等关键问题,从理论和实验上展开了研究。论文的成果如下:优化设计了SOI平板光子晶体慢光波导的结构,研究了SOI平板光子晶体波导的制备工艺流程,确立空气桥结构的制备工艺,成功研制出高质量的平板光子晶体波导。设计了条形接续波导的宽度,降低了拉锥光纤与条形波导的耦合损耗;设计了条形波导和光子晶体波导之间的接口,降低了慢光波段条形波导与光子晶体波导的耦合损耗,当群速度vg=c/50时,该耦合损耗小于3dB。研究了光纤与波导的耦合测试方法,编写了测试平台自动控制软件,大大缩短耦合测试时间。测试出光子禁带和缺陷模式,论证了缺陷模式导光。利用光纤马赫曾德尔干涉仪的方法,测量出了光子晶体波导中慢光的群速度,达到真空光速的1/80。研究了光子晶体慢光波导的时域延时特性,利用慢光对调制在光上的电信号进行延时。理论分析计算了调制信号的延时和畸变。实验实现了10GHz微波调制信号25ps的可调延时。