MgO-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-TiO<,2>-CeO<,2>系统微晶玻璃的相变及微波介电性能的研究

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MgO-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>系统堇青石基微晶玻璃,介电损耗低,热稳定性好,机械强度高,是一种性能优良的传统微波介质材料,在微电子、航天、航空工业有较多的应用.虽然这种材料的介电损耗很低(小于10<-4>),但是由于介电常数比较小(5.0-5.5),限制了它在某些领域的应用.我们的研究工作表明,以MgO-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>系统微晶玻璃为基础,通过大量引入TiO<,2>和CeO<,2>两种成分,可以有效地提高材料在微波频率下的介电常数,同时,保持材料较低的介电损耗水平.这种MgO-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-TiO<,2>-CeO<,2>五元复杂系统的微晶玻璃,在微波频率下(10G),介电常数可在8-13范围内调控,介电损耗可小于6×10<-4>,是一种新型的微波介质材料.该文利用DTA、XRD、SEM及TEM等实验手段,从MgO-Al<,2>O<,3>-SiO<,2>-TiO<,2>-CeO<,2>微晶玻璃材料的制备工艺入手,对此材料在热处理过程中玻璃分相、核化、晶化等相变过程及在相变过程中微波介电性能的变化规律;CeO<,2>-TiO<,2>两种主要成分对材料组成、结构和微波介电性能的影响等问题开展了较深入的研究.
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