靶材相关论文
高质量的陶瓷靶材对于射频磁控溅射法可镀制出综合性能优异的BaBiO3基负温度系数热敏薄膜至关重要。基于此，本工作以纯Ba Bi O3靶材......
近年来,以集成电路为主要方向的半导体相关产业得到了较快的发展。集成电路电路技术的进步离不开半导体制造工艺的逐步改进,而磁控......
针对废NiPt靶材，提出采用选择性溶解-中和沉淀工艺回收镍，铂富集物王水溶解-氧化水解除杂-氯化铵沉淀-煅烧工艺回收铂。结果表明，在硫......
以气化In2O3和SnO2粉为原料,在原料体系中按照SnO2为4%（质量分数）、6%、8%和10%的比例分别与In2O3混料,使用模压辅助冷等静压（CIP）成型......
贵金属靶材在半导体集成电路、显示器、电子部件反射膜、光学记录媒体、磁记录材料、玻璃功能薄膜、装饰首饰等领域有广泛的应用，本......
采用自主设计的带有气氛保护、冒口保温、磁力搅拌和强制冷却功能高频熔炼-铸造-搅拌一体化设备制备银基合金靶材坯料。研究了Au、......
研发了工业用半导体及电子信息行业用钛青铜,价格比进口产品低10-20%,性能相当,可替代国外产品。其中靶材用Cu-3.0wt%Ti的组织、成......
大尺寸高密度ITO靶材是我国当前的“卡脖子”技术,现有镀膜生产线对ITO靶材的相对密度要求达到99.7％以上,而ITO靶材在烧结初期的致......
近十几年,国内电子半导体行业发展迅速,对靶材的需求不断扩大,优良性能靶材的生产已成为支撑我国半导体行业发展的重要产业。磁控......
采用真空悬浮感应熔炼炉制备含钪20％的铝钪二元合金,并对比浇注和水冷铜坩埚中随炉冷却两种成型方法所制得铸锭的成分均匀性,从而确......
随着微电子技术的发展,电子设备的微型化对电源提出了更高的要求.二十世纪八十年代以来,锂电池由于自身优点获得了长足的发展和广......
本研究以电浆电弧为加热源蒸发钨靶材,并藉由气凝合成机制,外加一套吹气装置制备氧化钨奈米棒,分别探讨腔体压力与奈米棒平均直径......
为研究高速碎片侵彻某型号靶材过程中的材料参数变化对侵彻破坏效应的影响，评估靶材的侵彻破坏概率，将高速碎片的质量、密度、初速和......
以钨硅混合粉体为原料,通过真空煅烧制备钨硅合金块体,再经破碎、烧结致密化后成功制备出符合半导体使用要求的钨硅靶材.研究了煅......
磁控溅射靶表面磁场的非均匀分布使靶的溅射性能受到了靶材利用率低和刻蚀均匀性差的制约,因此寻求一种较高靶材利用率且在靶材表......
采用热压工艺,制备了相对密度较高的二硫化钼陶瓷靶材产品。以靶材的相对密度为考察指标,研究了热压温度、压强、时间、烧结气氛、......
采用真空烧结方法制备了Nb2O5∶TiO2（NTO）的陶瓷靶材,研究了在7.5%（质量分数）掺杂量下不同烧结温度对NTO陶瓷靶材的微观结构、表面形貌......
为探究在Si(100)上反应磁控溅射制备高熵合金氮化物薄膜的工艺,文中对靶材以及薄膜的微观结构、成分、杨氏模量、硬度等进行了表征......
公司简介Company introduction合肥科晶材料技术有限公司是美国MTI公司与中国科学院合肥物质科学研究院于1997年合资兴办的高新技......
采用一种比较简单的溶胶-凝胶法在相对较低的温度下制备了钙钛矿锰氧化物La0.67Ca0.33MnO3纳米粉末。XRD结果显示干凝胶直接在500......
采用金属~(62)Ni作为靶材料在反应堆辐照生成~(63)Ni的同时,由于次级核反应会生成~(55)Fe、~(59)Fe、~(58)Co、~(58)CO~m等杂质核......
在本文中首先分析了激光和靶材相互作用过程中等离子体形成、靶表面压力产生和靶冲量传递，并应用一低能量高功率１．０６μｍＹＡＧ激光作用于不同靶......
当入射激光的波长、辐照时间、平均功率密度保持相同的条件下，改变激光的时。空结构会产生不同的破坏模式，在上述激光基本参数不变时......
描述了用高功率脉冲激光打靶产生的等离子体作为软Ｘ射线源而进行的接近式软Ｘ射线光刻研究。采用正性光刻胶ＰＭＭＡ．得到了一些新的研究结果．
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利用脉冲激光诱导的冲击波对材料的内部组织结构进行无损评估，首次通过测量激光在铝和碳纤维／环氧复合材料中诱导的冲击波获得了材料......
本文对强流低能相对论电子束引起LT－12铝产生的热击波和层裂进行了分析．电子束在靶材中的能量沉积是非常复杂的，通常都用Monte－Carlo数......
以XeCl准分子激光消融Al,Cu为例,分析了以准分子激光消融平面材料的动力学过程,从激光导致的材料温度场着手,分析材料从缺陷导致断......
我们采用自行设计研制的积分球，测量了几种不同表面状况的ＬＹ１２铝合金靶对ＣＷＣＯ２激光（功率４０Ｗ左右）的热耦合系数。与理想条件下的经典理论值相比，热耦......
近年来,准分子激光器(excimer laser)以其高能量的脉冲式紫外(193nm或248nm)激光输出特征而被人们用于部分薄膜材料的加工和制备,......
利用一维理想弹塑性流体动力学模型和有限差分方法，研究了激光辐照固态靶材时产生的激波的形成和衰减过程以及动态断裂。
Using th......
用高温应变计和热偶计等诊断技术，研究连续波氧碘化学激光（ＣＷ／ＣＯＩＬ）与铝合金板作用产生的激光热应力。当照射靶面激光强度约１０００Ｗ／ｃｍ２时，激光热应力随靶......
利用自行研制的ＰＶＤＦ压电传感器研究了高功率密度激光冲击过程中有机玻璃约束窗口对激光冲击波压力的影响，实验表明有机玻璃（ＰＭＭＡ）约束层可大幅......
采用直接测量特定时间间隔系列和变磁阻传感技术的探头原理，实测了强脉冲Ｘ光辐照硬铝靶产生的喷射冲量。并给出了解析计算。结果表明......
利用Sol Gel法制备了优质KTN陶瓷靶材 ,用PLD技术成功地在P Si(10 0 )衬底上沉积出了较纯净钙钛矿相 (>98% )的KTN薄膜 ,并对所制......
采用能量密度为１．１７８×１０９Ｗ／ｃｍ２的ＸｅＣｌ准分子激光直接辐照高纯度的石墨靶，并同时采用辅助放电，在１×１０－５Ｔｏｒｒ的真空环境中，于温度为８０℃的Ｓｉ（１００）的基片上淀积出类金刚石薄......
首先对传统的圆平面磁控靶的形状进行改进，设计一个靶材利用率高的纯金靶．利用金合金的色区图，计算沉积不同Ｋ值和颜色的镀金膜时，组合式......
利用准分子脉冲激光（ＸｅＣｌ，λ＝３０８ｎｍ）对Ｓｉ，红宝石和钛宝石靶进行消融，从而得到ＳｉＯ２和红宝石、钛宝石的钠米级粉末。用透射电镜对粉末的物质形态进行分析，并......
激光制备纳米粉体具有一系列的优点。本文较详细地介绍了激光法制备纳米粉体的基本原理，特点及粉体的合成与性能，并对其发展趋势作了......
本文利用PVDF新型压电传感器对激光冲击波进行了多点实时测量，得到了激光冲击波在铝中的衰减规律．所得结果对激光冲击强化以及材料本......
介绍了国产ＩＴＯ靶材磁控溅射制备ＩＴＯ膜的工艺实验。实验结果表明，国产ＩＴＯ靶材具有良好的工艺稳定性和重现性，在优选镀膜工艺参数条件下，获得了性......
在现代大型薄膜连续生产线中 ,其生产效率主要受以下两因数的影响 :溅射器的沉积速率和靶材的使用周期。本实验研制了一种圆筒形靶......
