微波光子移相器(MWPPS:Microwave Photonic Phase Shifter)是光控相控阵系统中的关键器件,研究MWPPS对于精确控制光波束的形成、完成波束扫描具有重大意义。本文采用SOI(Silicon-On-Insulator)材料作为制作器件的基体材料,对器件进行了详细的设计。本文首先基于矢量和技术对90°微波光子移相器的总体结构和功能实现进行了充分论证。接下来对器件的各个分立功能模块进行了前端设计,对于1×2分路器采用小角度Y分支结构和对称干涉型MMI结构,实现对输入信号的低损耗、高均衡度功率分配;对于衰减单元,采用马赫曾德尔型热光型衰减结构,通过对双臂的热光调节,理论上实现了低折射率变化下大范围的光振幅衰减,通过衰减单元对光信号振幅的调节达到对微波信号的相移。