作为开放平台的洁净实验室,承接校内外的科研任务,为学校各院师生、校外企事业单位提供加工测试服务,实验室7×24小时运行。保障洁净实验室的稳定运行,就要求洁净室的附属动力设备能够高效稳定运转,使洁净实验室保持所要求的洁净度与温湿度,使工艺冷却水、纯水及各路气体稳定供应。洁净实验室附属动力设备当前的管理模式主要靠工程师的日常巡查,无法保证对附属动力设备在线实时监测,且机房现场噪声较大,轻微的异响很难觉察到,往往要发生故障停机导致洁净实验室出现报警或洁净室内工程师发现异常才会倒查到现场查看并排查问题,难以保证故障的提前预警或者及时修复。针对上述问题,本文开发了一套洁净实验室附属动力设备运行监测系统,能通过PC端软件和安卓端软件对洁净实验室附属动力设备进行实时监测,提高了设备监测的效率。能提前预警设备故障,及时对设备故障进行报警,让工程师能第一时间到设备现场,对故障做进一步排查。同时能记录历史运行数据与故障情况,通过实时数据与历史数据对比分析,能够给出故障的初步分析,判断故障的原因,提高工程师现场排查的效率。通过该系统能够有效保障洁净实验室的稳定运行。洁净实验室附属动力设备运行监测系统主要包括以下两部分:1、洁净实验室附属动力设备运行监测系统的硬件部分,包含数据采集模块、微控制器、传输模块、电路模块等;2、洁净实验室附属动力设备运行监测系统的软件部分,包含硬件的程序开发、PC端软件与安卓端软件。上述洁净实验室附属动力设备运行监测系统已经安装就位,并已进行前期设备正常状态下的数据采集、分析与整理。在系统试运行阶段,就及时发现了三台设备的故障,分别是清洗间排风机电机故障、纯水系统输送泵故障及真空泵故障。由于预警及时,使故障能够及时得到有效的处理,将故障对洁净实验室的影响降到了最低。