纳米氧化锌和硫化锌的气相沉积法制备及性能研究

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氧化锌和硫化锌是重要的直接宽带隙半导体材料,具有比室温热能还要高的激子束缚能,是实现室温紫外激光发射的理想材料。一维的氧化锌和硫化锌纳米材料在紫外光(绿光)发光(激光)二极管、场效应晶体管、太阳能电池、纳米机电器件、场发射以及化学、生物感应器件领域有潜在的应用价值。制备一维氧化锌或硫化锌纳米材料的方法有很多,如水热法、电化学沉积法、化学气相沉积法、物理气相沉积法、金属有机化学气相沉积法等,而化学气相沉积法是使用最广泛的方法之一。本文采用化学气相沉积法探讨了采用不同锌源制备氧化锌、硫化锌及硫化
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