电子工业厂房节能分析与研究

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洁净室技术已在化工、医疗、半导体等行业得到广泛应用,同时对洁净空调节能技术也提出了更高的要求。通常洁净室要达到所要求的洁净等级所采用的措施有几种:(1)高性能的过滤装置;(2)合理的气流组织;(3)足够多的循环风量。首先,本文选取与洁净室密切相关联气流组织为研究对象,采用CFD模型对比模拟与实验实测相结合的方法,选取电子工业中常用的几种模型,进行气流组织的节能研究。本文中CFD模拟采用有限容积法,根据k-ε双方程紊流模型,使用AIRPAK软件对三种不同气流组织进行计算机数值模拟。模拟结果显示,流线型上送下回对洁净室净化效果较好,气流均匀稳定,洁净度和温湿度分布均匀。这种送风可使室内大部分点都处在空气循环状态下,有利于空气中尘埃的去除,而且在相同洁净度要求前提下,流线型可以大大减少洁净室的送风量,这对于洁净室能耗意义是重大的。其次,本文根据流线型气流组织方案,结合电子工业洁净室暖通设计工程实例和洁净厂房设计过程,提出空调系统的改进装置。这种装置把空调和净化单元分装于室内并直接向室内全域输送达到要求的净化空气,从而使洁净室更高效、方便和节能。
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