【摘 要】
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零差激光干涉测振技术是低频振动校准等领域的核心关键技术。零差激光干涉测振过程中产生的非线性误差是制约测量精度和性能进一步提高最主要的因素之一。传统的零差激光干涉测振光路中存在偏振泄漏和偏振混叠现象,非线性误差显著。且光路中可调整器件过多,光路调节困难,多个可调整器件的旋转角度偏差均会引入显著的非正交误差。在后续的信号处理过程中,数学关系简单、具有较好实时性的非线性误差补偿方法多针对直流偏置误差和不
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零差激光干涉测振技术是低频振动校准等领域的核心关键技术。零差激光干涉测振过程中产生的非线性误差是制约测量精度和性能进一步提高最主要的因素之一。传统的零差激光干涉测振光路中存在偏振泄漏和偏振混叠现象,非线性误差显著。且光路中可调整器件过多,光路调节困难,多个可调整器件的旋转角度偏差均会引入显著的非正交误差。在后续的信号处理过程中,数学关系简单、具有较好实时性的非线性误差补偿方法多针对直流偏置误差和不等幅误差,实现非正交误差的补偿较为困难。因此,零差激光干涉测振中的非线性误差补偿技术是低频振动校准等领域
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