现代生产和制造业中,一些高科技产业对精密仪器表面精度的要求越来越高,精密元件表面疵病对系统性能的影响很大,可能造成系统瘫痪,使其不能正常工作,这就使得表面疵病的检测势在必行,如何做到高效化、自动化、数字化的检测是一个亟待解决的问题。本论文结合了航天九院对陀螺光腔内反镜的检测要求,在基于光散射效应的表面疵病检测方法的基础上,研制了一套利用CCD散射显微镜检测超光滑表面的系统,该系统采用半导体激光光源,使光线以一定的角度入射到陀螺光腔内反镜上,使其表面疵病散射光进入显微成像系统,在暗背景下得到亮像,方便了图像的后期处理,该方案解决了前阶段通过员工裸眼在显微镜下对疵病进行观察,造成效率低下,人眼疲劳,随机误差大等问题；采用四轴电动旋转平移台,通过计算机控制实现系统的精确移动与定位,实现了该检测系统的自动化、高效化、数字化,该旋转台可保证入射光从任意角度照射到元件表面上,避免了某些疵病在一定角度入射光照射下散射光太弱,进入不到成像系统,不能在暗背景下形成亮像的问题；对采集到的图像进行了中值滤波、高斯滤波的处理,把多角度入射光照射下同一疵病的图像进行融合,通过边缘检测实现了对疵病位置的数字化标注。