【摘 要】
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数据格式转换软件是电子束曝光机不可缺少的辅助工具。本课题的主要任务是研制与新型图形发生器相匹配的数据格式转换软件。该软件在陈建辉编制的OurCutterV1.0的基础上,进一
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数据格式转换软件是电子束曝光机不可缺少的辅助工具。本课题的主要任务是研制与新型图形发生器相匹配的数据格式转换软件。该软件在陈建辉编制的OurCutterV1.0的基础上,进一步扩展了从cif格式向新型图形发生器所特有的DY51数据格式转换的功能。本论文在严格定义了DY51的基础的上,主要分为两个部分介绍本课题的研究成果。第一部分分析了OurCutterV1.0在圆弧逼近、多边形自交校验、尺寸修正、自分割以及束斑分割等功能模块中存在的问题,并在此基础上提出了相应的解决方案和算法。进一步完善了各功能模块,使升级版OurCutterV2.0更具有实用性。这一部分主要包括第二章和第三章。本论文在第二部分介绍了一种为专门二次曲线图形服务的新的单元图形——二次曲线单元图形(Conic Primitive),并以此为基础定义了一种兼容二次曲线的中间图形(Intermediate Shape)及其相对应的文本数据格式MGDF。针对这种带有二次曲线的中间图形,本文对二维多边形的集合运算进行了重新定义,并在此基础上设计出一系列兼容二次曲线的算法。这一部分将在第四章和第五章介绍。本论文总共有六个章节。除了上述的四章外,论文的第一章主要介绍了电子束曝光机以及数据格式转换软件的背景,而第六章是对整个课题的总结。
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