微细电火花加工中,微细电极的制备是至关重要的,它直接决定着可加工零部件的最小尺寸和加工效率.因此本文研究了一种基于煤油工作液中单脉冲放电快速成形微细电极的方法,运用该方法可在几百微秒的时间内,完成微细电极的制备,大大的提高了微细电极的成形效率.分析了各种加工参数对微细电极成形的影响,并发现该电极横断面具有多层结构的特性,其外层是致密的金相结构,可有效减小微细孔加工中电极损耗.微细电火花的去除加工受到整个研究领域内学者的极大关注,同时微细电火花沉积加工正在悄然成长,扭转了人们对常规电火花加工的普遍认识.本文研究了在空气中进行多种电极材质的电火花微细沉积和选择性去除加工的方法,在大量试验的基础上总结了试验规律,分析了沉积物的理化性能和力学特性,在钢工件表面成功地沉积出多种金属的微细圆柱体,并进行了选择性去除加工.利用铜合金微细电极成功的完成了微细螺旋结构体的沉积加工.在此基础上提出了单圆柱连续沉积和分层扫描式连续沉积气中三维微细电火花沉积与去除可逆加工方法.微细电火花加工的目标是向着更精确、更微小零件的加工方向发展,因此探索微能脉冲条件下,可达到的加工尺度问题尤显突出重要.为此本文基于宏微驱动原理,结合柔性铰链的微位移特点,研制了一套可进行单脉冲微能放电的实验系统,该系统包含微位移模块,CCD观测模块和微能单脉冲电源模块等.实现了压电陶瓷驱动纳米量级的位移进给机构和微能量单脉冲电源控制电路的研制.为探索微能脉冲条件下放电加工的尺度问题,从而奠定更精细放电加工的基础,本文在自行研制的微能放电实验平台上,利用单脉冲放电形成的微细电极尖端,在空气环境中,进行了单脉冲放电加工试验.通过试验,在能量为10<'-6>焦耳或更低的条件下,实现了亚微米量级的去除和沉积可逆加工.为今后实现真正意义上的亚微米甚至纳米级加工奠定了良好的基础.