近几年基于微系统的小功率微波等离子体源的研究越来越受关注，人们致力于得到一种结构简单，使用寿命长，状态稳定，功耗低，效率高而且无电极污染的小型化等离子体源。这种小功率微波等离子体源一般分为电容耦合和电感耦合等离子源，其中电感耦合等离子体源(Inductively Coupled Plasma Source，ICPS)由于具有结构简单，离子能量和等离子体密度等参数可控，无电极污染，工作稳定等优点被更加广泛的使用和研究。　　 本文通过对平面螺旋电感耦合天线的性能分析，在传统ICPS结构的基础上，提出了金属线宽及金属线圈间距从外到内逐渐变小的渐变结构。论文采用表面电磁流的方法对这类结构等离子体源的场进行了全波分析。　　 本文在此基础上设计了一个谐振在2.45GHz的渐变结构式平面螺旋电感耦合等离子体源。利用电磁软件HFSS和CST分别对这个ICPS的性能和激发出等离子体后的天线状态进行了仿真分析。在相同条件下，相比传统结构的ICPS，渐变结构可以获得更高的Q值，并能激发出更强大的电场及磁场，提高了微波功率源到电感感应放电能量的转换效率。随后论文研究了恒磁场对等离子体的作用情况，通过等效介电常数分析恒磁场对ICPS的影响，并进行相应的软件仿真。　　 最后制作实物对这个渐变结构ICPS的工作性能加以实验验证。