离子束分析技术在材料组分定量测量中的应用研究

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离子束分析的基本原理和基础是载能离子与靶原子在原子和原子核级别的相互作用.当一束高速的带电离子撞击靶原子,入射离子将会与靶原子和原子核发生相互作用,离子逐渐地减速并改变最初的方向,这一相互作用过程会导致粒子的散射、粒子或者射线的辐射.通过探测从这种材料表面的散射离子、反冲原子(离子)、发射的电子、光子或者核反应放射出的粒子或者辐射以及它们的特性,例如能量和角分布,我们就可以定量地分析出靶材料的组分以及各元素在靶材料中的分布信息.离子束分析包含很多种分析技术,每一种分析技术都是利用每种元素的特定性质(比如说,质量、原子核电荷数以及电磁辐射或吸收特性)来确定在材料中不同元素的组分、浓度以及分布.该论文所涉及的离子束分析技术主要有如下几种:背散射分析和沟道;弹性反冲探测分析;核反应分析技术;中能离子散射.
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