【摘 要】
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金属多层膜的研究工作因巨磁电阻效应的发现而备受重视.这类单层厚度仅仅为几个纳米的超薄膜对制备工艺也提出了挑战.该文采用磁控溅控溅射法制备了NiFe/Cu多层膜、NiFe-Cu自
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金属多层膜的研究工作因巨磁电阻效应的发现而备受重视.这类单层厚度仅仅为几个纳米的超薄膜对制备工艺也提出了挑战.该文采用磁控溅控溅射法制备了NiFe/Cu多层膜、NiFe-Cu自旋阀多层结构、Fe/Mo、NiFe/Mo磁性金属多层膜以及完全取向的d相AlCuCo准晶薄膜,并对制备工艺、物性和微结构进行了系统的研究.获得以下主要结果:改善了制备工艺,制成了性能优良的NiFe/Cu多层膜和以NiFe-Cu为主体的自旋阀多层结构,所获得的各项指标均达到了国际水平.对Fe/Mo、NiFe/Mo多层膜的磁电性质进行了研究.采用适当的多层膜结构结合后期热处理,在国际上首次制成了完全取向的d相AlCuCo准晶薄膜.并研究了磁场对准晶薄膜取向的影响.所得结果对d相准晶物理性质的深入研究以及深化对d相准晶成相机理的认识都具有重要意义.
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