随着现代科学技术和工业技术的发展,微孔器件越来越广泛地被用于在航空、电子、仪表、生物医疗以及纺织等工业领域中。数字显微图像测量是重要的微孔孔径非接触测量方法。受显微镜分辨力影响,直接采用原始图像测量,其精度难以满足直接测量需求。受卷积效应影响,微结构的光学边缘与微结构的物理边缘不一致。建立准确的微结构边缘判据,依据光学图像精确确定微结构的边缘是普通光学显微成像测量的关键问题。本文利用0.550μm单色光作为照明光源对圆孔结构显微成像,然后利用超分辨复原算法处理原始图像,消除衍射效应影响,提高圆孔结构图像分辨力。通过对圆孔显微图像超分辨复原,本文建立了圆孔复原图像的边缘判据I_E=0.399,并据此探测圆孔边缘进而测量直径,提高了对微米级圆孔直径的光学显微测量的测量精度。该方法实现了对圆孔结构快速、准确地显微图像测量。在上述研究基础上,本文开发了核孔膜自动检测系统,实现了对核孔膜核孔的精确探测和准确孔径测量,为核孔膜产品的生产过程中检测和产品质量分析提供了低成本、精度满足需要、快捷易用的新方法。本方法也可以用于针孔等样品的直径测量。