【摘 要】
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石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance-QCM)气敏传感器是一种灵敏度可以达到纳克级质量型传感器,QCM传感器具有选择性好、灵敏度高、便于实现自动化等优点,并且仪器简单
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石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance-QCM)气敏传感器是一种灵敏度可以达到纳克级质量型传感器,QCM传感器具有选择性好、灵敏度高、便于实现自动化等优点,并且仪器简单、操作方便。研究发现,当石英晶体吸附其他物质时,其固有频率会发生变化,利用石英晶体这一特性,在石英晶体表面涂一层待测气体敏感膜,选择性气体敏感膜吸附待测气体后,晶振频率会发生变化,通过测量QCM晶振频率变化以推断有毒气体种类及其浓度变化。根据上述原理,QCM气敏传感器可用于气体化学成分和浓度的分析。研究表明,现有单通道QCM以其功能有限正逐渐被淘汰。目前还没有发现只对单一气体敏感的传感器材料。单个传感器对不同气体敏感响应可能会有变化,但不具备自动识别气体种类和浓度的能力。采用多通道QCM气敏传感器阵列可解决以上问题。频率信号采集主要采用USB、PCI、以太网三种传输方式。相对于USB、PCI传输方式,以太网传输方式具有稳定性高、价格低廉、传输速度快、传输距离远等特点。本设计采用一种基于以太网传输协议的32通道石英晶体微天平(QCM)测量系统。该系统由QCM气敏传感器阵列起振模块和高精度频率采集卡组成。起振模块包括石英晶体振荡电路和32路石英晶体,起振模块产生32路石英晶体频率信号;高精度频率采集卡包括FPGA模块、EPCS模块、SDRAM模块、FLASH模块、百兆以太网模块等,高精度频率采集卡通过FPGA内部计数器直接采样频率信号,同时将频率信号数据封装成UDP数据包,通过以太网高速传输给上位机进行数据存储、处理及信号波形显示。本文使用Verilog语言完成FPGA内部计数器及定时器逻辑的编写;在NIOSII IDE中使用C语言完成以太网传输协议及百兆以太网的控制;使用Visual C#实现PC机界面显示程序,用于整个测量系统应用程序的开发。测试结果表明,本系统可以实现实时、多通道、高速、高精度的采集和发送数据。基于以上功能,本系统可应用于室内有毒气体的测量、数据采集等科学研究领域。
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