蓝宝石材料具有良好的化学稳定性和机械及光学特性,其市场需求越来越大。目前针对蓝宝石晶片的超精密加工以超精密研磨和化学机械抛光为主,而研磨和抛光都是属于高资源环境负荷的制造工艺,故蓝宝石晶片生产企业走绿色转型之路成为必然的选择。绿色制造工艺是解决蓝宝石晶片超精密加工工艺高资源环境负荷问题的根本途径,是蓝宝石晶片生产企业实施绿色制造的重点。本文以蓝宝石晶片超精密加工工艺为研究对象,重点对蓝宝石晶片超精密加工工艺的资源环境负荷分析、多属性决策技术及决策支持系统进行了较为系统的研究。主要工作内容有:（1）以蓝宝石晶片超精密加工为对象,建立了其工艺资源环境负荷IPO（Input-Process-Output）模型,并对其进行详细的制造工艺资源环境负荷分析,以此为基础,建立了蓝宝石超精密加工工艺资源环境负荷决策指标体系。对各决策指标数据的采集方法及数据处理方法进行了叙述。（2）综合考虑制造工艺过程的传统指标和资源环境负荷指标,提出了基于CRITIC（Criteria Importance Though Intercrieria Correlation）法与专家打分法的指标主客观权重分析方法,并引入基于相对熵的多属性决策方法,建立了绿色制造工艺方案多属性决策模型。以蓝宝石晶片超精密研磨工艺为实验对象,设计并开展了蓝宝石晶片超精密研磨工艺实验,利用本研究建立的绿色制造工艺方案多属性决策模型对研磨工艺方案进行决策,从而选出折中最优的研磨工艺方案,指导生产实践。（3）在以上理论、方法和模型研究基础上,研究并开发了蓝宝石晶片超精密加工工艺资源环境负荷分析及决策支持系统。对系统进行了功能需求分析,并对决策支持系统的体系结构、各模块功能设计及系统功能操作等进行了详细介绍。