随着硫酰氟替代溴甲烷作为熏蒸剂越来越广泛的应用于各个行业,硫酰氟的危害逐渐开始受到人们关注。硫酰氟作为强温室效应气体,严重影响着全球气温变化,同时危害着人类的身体健康。因此无害化脱除硫酰氟刻不容缓。为此,本文开展了介质阻挡放电等离子体无害化脱除硫酰氟的相关研究。本文建立了无害化脱除硫酰氟的工艺路线及实验装置,讨论了各个电参数及工艺参数对硫酰氟脱除效率的影响,探索了硫酰氟在等离子体反应器内填充石英玻璃球时的脱除机理,分析了填充介质对硫酰氟脱除效率及产物的影响,实现了无害化脱除硫酰氟的目的。结果表明:在放电电压为11.4kV,放电频率为8.0kHz,能量密度为454J/L,电极间距为7.5mm,进料浓度为0.5%,停留时间为5.1s条件下,经过填充石英玻璃球的等离子体反应器处理,硫酰氟脱除效率达到100%,并且生成SO2,SiF4及S,经NaOH溶液吸收固定达到了无害化排放。硫酰氟的脱除主要归功于放电产生的高能电子的碰撞作用,其脱除效率高低取决于等离子体反应器内的高能电子的能量大小和电子个数,硫酰氟在介质阻挡放电反应器内的反应速率常数为0.0193 L/J。相对于填充石英玻璃球,填充氧化铝球可以实现较低电压下放电,不仅可以得到较高的脱除效率,而且能耗降低50%以上,所需能量密度仅为208J/L。由于氧化铝可以与硫酰氟分解后的气体产物反应,因此填充氧化铝球可以无害化脱除硫酰氟研究。本研究提供了一种切实可行的无害化脱除硫酰氟的方法,也为含硫含氟的废气脱除提供理论基础。