半导体集成电路行业是一个国家信息产业发展的基础,该行业在未来将会有迅猛的发展。随着制造规模的不断扩大,其制造活动对环境所造成的影响也会日益增加。芯片制造企业水平各有特色,创建符合行业特色的切实可行的生产废水废物的处理模式,对保护环境,促进生产都有着深远的影响。半导体集成电路行业制程需要使用几百种化学品,废水废气处置工艺要求极高。在生产过程中含氟废水产生量最大,目前国内企业基本以达标排放或填埋为目标进行处置。氟作为一种化学品既具有毒性会污染环境,又是社会生产生活中必不可缺的社会资源。简单的以达标排放为目的的处置方式不能满足半导体集成电路行业实现绿色生产保护环境的目标。本文通过工程试验方式将找出适合半导体集成电路行业含氟废水的最佳处理方法并且最终实现了含氟废物的综合利用。本文主要两方面研究内容如下：(1)对半导体集成电路行业生产过程所产生的含氟废水处理进行研究,通过分析现有的3种处理方法,找出石灰絮凝沉淀法是该行业最佳处理方法。对比传统研究石灰2.0-2.5倍的投加方式,提出先加硫酸然后投加1.2倍左右石灰的新方式,并通过单因素实验获得更优化的反应条件：石灰投加理论计算量1.2倍左右,pH=8.5,PAC投加质量浓度为500mg/L。工程应用证明在这些参数的操作下,废水不仅能够达到一级水排放标准,长期监测显示氟含量能够控制在10mg/L。且该方法投药量降低一半以上,同时末端的含氟污泥也有显著降低,无论从运行成本还是处理成本上都将有良好的经济效益。(2)在对含氟废水处理后所产生的污泥进行深入研究,通过实验证明该含氟废物对环境存才极大危害,同时又具备相当大的社会价值。在成功研究含氟废水的基础上,对废水处理后所产生的含氟污泥进行有效研究,综述了现有的氟化钙污泥处理处置技术,包括直接应用,充当几种其它工业原料以及利用其化学性质等。通过对半导体行业产生的氟化钙的物质分析,确定该物质替代萤石在水泥生产中作为原料使用为最佳方案,通过和水泥厂的合作试验证明氟化钙资源化利用切实可行,最终通过工程应用不仅实现了废物资源化,同时还实现了经济效益及社会效益。本文通过理论和实践相结合的研究方法,在分析国内外含氟废水处理方法的基础上,通过实验的方式找到最佳含氟废水处理方法。又结合不同阶段的协同处置过程找到最佳资源利用方式,从而实现了含氟废水无害化的处理,并且实现全部废物的资源化利用,保护环境的同时节约了有限的自然资源。