静电加速度计作为一种能够精确测量缓慢变化的加速度的加速度计,在空间微重力环境已经获得广泛应用。但是对于应用于地面测量环境的静电加速度计,在工作时则需克服1g的重力加速度,这使得静电支承系统的支承电压过高,现阶段的支承系统难以达到要求。不仅如此,空间加速度计中测量介质为真空介质的条件容易实现,但保持应用于地面测量的静电加速度计的测量介质为真空介质的条件则较难实现。针对这些问题,本文提出了一种以硅油为测量介质的静电支承系统,并针对该支承系统提出相应的检测与控制系统。本论文针对静电加速度计的支承系统与检测控制系统进行了如下研究:1)总体方案研究。本文分析了静电加速度计在地面测量的前提下的需求,对地面测量条件下的以真空为测量介质的静电支承系统的可行性进行分析,提出一种以硅油为介质的新的静电支承系统并对其进行可行性分析。针对这种静电支承系统,提出一种对应的检测控制系统,从而实现静电加速度计的高分辨率参数。2)静电加速度计的高压支承系统的设计与实现。对提出的硅油测量介质进行分析,提出硅油测量介质带来的相关问题,并提出解决方案,完成高分辨率的高压支承系统的设计与实现。3)静电加速度计的光学检测与控制系统的设计与实现。为了使控制系统更好的匹配被控对象,本文对被控对象的特征参数进行建模分析,计算被控对象的传递函数,并进行验证。针对该被控对象特征,设计实现微小位移的光学干涉测量系统。并通过对不同控制算法的探讨,选取最适合于该控制系统的控制算法。4)最后,搭建实验平台,实现静电加速度计系统测量。验证支承系统与检测控制系统的可行性。