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在超精密加工、超精密测量/测试以及航空航天设备领域,对外界环境振动和设备自身振动的抑制、隔离是重要的研究课题之一,其常用的手段有被动、半主动和主动隔振。超磁致伸缩材料具有能量密度高、伸缩系数大(10-3量级)、响应时间极短、输出应力大、驱动电压低等特点,由这种材料驱动的执行器可以应用在主动隔/减振系统中。本论文的主要目的是在课题原有的超磁致伸缩微定位系统的基础之上,改进执行器的机械结构和驱动方式,改善控制系统,提高系统的动态输出性能。论文的主要内容包含以下三个部分:一、分析课题原有超磁致伸缩执行器(