【摘 要】
：
等离子体增强化学气相沉积(PCVD)作为表面改性技术,能有效提高工模具的使用寿命.其设备从八十年代以来,不断改进,从直流冷壁炉到现在的脉冲热壁炉,反应室容积也在 不断地扩大
论文部分内容阅读
等离子体增强化学气相沉积(PCVD)作为表面改性技术,能有效提高工模具的使用寿命.其设备从八十年代以来,不断改进,从直流冷壁炉到现在的脉冲热壁炉,反应室容积也在 不断地扩大.有关沉积工艺对薄膜组织性和反应室容积的角度讨论其对膜层性能尤其是膜基结合力的影响还未见报道,有关机理更是不清楚.此外虽然以前用直流电源在小设备上,较好的解决了离氮化与PCVD TiN复合处理的"黑色层"的问题,但在脉冲电源大设备上,如何考虑并设法避免黑色层亦未见明确结论.该文针对上述问题,通过比较脉冲大反应室与直流小反应室工艺参数的特点,研究脉冲电源及反应室容积对膜基性能的影响,并对脉冲电源、大反应室的离子氮化-PCVDTiN复合处理的黑色层形成和机制进行探讨.
其他文献
当前,微波是我国传输广播电视信号的重要方式与手段,对专递政府声音、丰富人们精神生活,均有着积极意义,但需要指出的是,伴随当今城市建设规模的不断扩大,速度的不断提升,微
V型选粉机是水泥联合粉磨系统中的重要设备，本文V型选粉机是为了解决联合粉磨工艺中辊压机边缘效应、改善辊压机再挤压和提高球磨系统效率所设计的分级装置。 V型选粉机根
微生物对金属元素或放射性核素的吸附行为及应用的研究是目前国内外十分活跃的研究领域。但到目前为止，绝大多数研究还处于实验室阶段。此外，由于微生物种类的广泛性、多样性以
研究结果表明,不同粒径的铝粉原料、不同尺寸的磨球、球磨罐大小及转速、装料量、球料比和球磨时间等对铝粉颜料的平均粒径会产生影响,但对铝粉颜料的形貌并无多大影响;油酸
小学,是真正学校文化教育的第一步,小学也是不断培养同学们个人学习能力和学习习惯的重要时期,所以小学的学习和教育不能仅仅停留在书本的教学中,最重要的是培养同学们的“能
该文介绍了通过机械合金化的方法来制备纳米软磁芯材料.在初步实验的基础上,根据所要求的性能指标确定以铁为基,加入不同含量的镍,钼这样一个合金体系.据此,确定了5个不同成
写作(统编三年级称为习作)是运用语言文字进行表达和交流的重要方式,是认识世界、认识自我、进行创造性表述的过程.写作能力是语文素养的综合体现.写作教学应贴近学生实际,让
托卡马克装置物理实验的开展依赖于高效稳定的等离子体控制系统。在广泛调研了国内外装置控制系统发展状况的基础上，论文讨论了基于Linux集群的等离子体控制系统架构，剖析了该
2019年3月10日,浙江省博物馆的“古埃及文明特展”出现了一名特别的“讲解员”,她的身边簇拥着几个孩子,讲解的声音虽小却温柔有力,从古埃及地图讲到“法老的诅咒”,将古埃及
精确评估人体器官在一定辐射条件下的吸收剂量是辐射防护和医学物理领域的重要任务。基于人体模型进行蒙特卡罗模拟计算是人体剂量评估的有效方法，而如何建立蒙特卡罗方法所需