氧化硅光学微腔由于其具有超高品质因子和较小的模式体积,在各研究领域得到了广泛的关注。例如腔光力学、腔电动力学、微型激光器,生物传感器,滤波器,非线性光学等。并且由于其能够很方便地与其他片上光学器件集成,在光通信和计算机方面都有巨大的应用前景。本文中我们首先介绍了利用电感耦合等离子体干法刻蚀的方法制备的各个尺寸的大倾角氧化硅微盘腔,首先我们制备出了直径为80μm厚度分别为1μm,2μm,3μm的光学微腔,Q值分别为:1.2×107,2.1×107,3.0×107。这些光学微腔因为尺寸较小,都有较小的模式体积,可以在腔内得到很大的光的能量密度,所以可以在较低阈值条件下产生拉曼激光。而且干法刻蚀的微盘腔的倾角可以做到很大,非常适合与其他光学器件集成。另外,我们还制备出厚度为4μm,直径分别为:80μm,500μm,1000μm,2000μm,3000μm的微盘腔,目前品质因子也都可以达到107,这些大直径微盘腔,由于其自由光谱范围(FSR)比较小,在光频梳上有很好的应用。而且这些大直径的微盘腔的侧壁倾角也可以在很大的范围内进行调节,可以有效地控制腔内光的色散,能够在各波段产生光频梳。然后我们介绍了基于片上氧化硅微盘腔的拉曼激光器。二氧化硅拉曼微型激光器已经在球形,环芯形和瓶状光学微腔中得到了展示,但其工艺过程采用的CO2激光器回流工艺对微腔的形状和结构有一定的影响,对其与其他光学器件的集成也有一定影响。本文中我们通过实验演示了一种利用耦合到光纤锥的片上氧化硅微盘腔系统产生的拉曼激光器。该微腔的优点在于不依赖于回流工艺,从而有效地避免了对微腔形状的有害影响,能够更轻易地与其他器件相集成。实验中我们利用Q为1.5X107的二氧化硅微盘腔在1550nm波段产生了拉曼激光,产生拉曼激光的阈值为3.9 mw,转换效率为7.5%。最后介绍了利用基于大直径大倾角氧化硅微盘腔的光频梳实验。实验中,我们利用4μm厚500μm直径的氧化硅微盘腔来产生光频梳,测产生光频梳的阈值大约为 63Oμw。