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随着科学技术的高速发展,需要测超高温的环境不断增加,这对我国的热电偶研发事业提出了新的挑战。而钨铼热电偶作为超高温热电偶中的佼佼者,由于其只能在无氧化气氛下测温,大大限制了它的应用场合,钨铼热电偶的高温防氧化涂层的研究刻不容缓。本文所研究的钨铼热电偶需在高于2500度的钢水环境下测温,根据常见高温材料的熔点、防氧化能力和价格,选用了氧化锆作为钨铼热电偶的高温防氧化材料。根据氧化锆涂层材料的性质和现有的涂层制备方法,选用了电子束物理气相沉积法在钨铼热电偶丝上沉积氧化锆涂层。由于金属钨铼热电偶丝和氧化锆