适用于声表面波器件的ZnO/diamond多层膜的制备研究

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【摘要】

：

随着现代电子设备信息处理量的扩大,通信载波频段必须向更高频的频率区移动,声表面波器件(SAWD)是现代无限移动通讯系统的关键部件之一,其工作频率f是由材料的声表面波传播速度V和波长λ决定的,即f=V/λ:由于所采用的材料及加工工艺的限制,目前的声表面波器件,其工作频率很难达到GHz。金刚石具有非常高的声表面波传播速度,以它们作为衬底在现有的工艺条件下很容易制作出高频低损耗的薄膜型SAWD,因此研究

【作者】

：

王五松

【机构】

：

天津理工大学

【发表日期】

：

2009年01期

【关键词】

：

声表面波器件金刚石薄膜直流电弧等离子体喷射CVD法磁控溅射 ZnO

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