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柔性非晶硅薄膜太阳能电池以其可卷曲等独特的优点而成为当前光伏领域中研究的热点。但是柔性衬底一般透光性差,因而柔性衬底的采用也给非晶硅薄膜太阳能电池的制备工艺带来了新的问题。本文对柔性非晶硅薄膜太阳能电池的关键制备技术进行了研究,并对相关工艺进行了优化,从而提高柔性非晶硅薄膜太阳能电池的性能。本文采用不锈钢片和聚酰亚胺膜(PI膜)作为柔性衬底,针对柔性衬底和玻璃衬底的不同,对柔性衬底非晶硅薄膜太阳能电池的结构进行了设计和调整,并根据所设计的结构制定了相应的电池制备工艺方案。本文将ZnO:A