由于量子电磁场零点涨落,真空中呈现电中性的物体之间存在相互作用力,即卡西米尔力,这种效应称为卡西米尔效应。卡西米尔效应对量子电动力学、凝聚态物理、数学物理以及微器件方面等都起着推动的作用。微电子机械系统(MEMS)是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的新兴学科,它是指集微型机械、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微电子机械系统技术的发展显示出巨大的生命力,它把信息系统的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到新的高度。本文简要介绍了卡西米尔效应,微电子机械系统的相关理论,以及卡西米尔效应的实验研究。同时给出了文献[3]中含有卡西米尔势能热场的Klein-Gordon方程的详细推导过程,与文献[3]得到了相同的结论。为了更直观的了解含有卡西米尔势能的热场对微电子机械系统的影响,对方程进行了数值解的运算,给出了不同参数下的卡西米尔效应对温度场的影响。这表明卡西米尔效应在微电子机械系统中的应用具有理论意义和应用价值。