本文在CCD光学显微检测系统基础上,针对尺寸参量显微测量方法进行了深入的研究,建立了一套基于CCD的尺寸参量通用检测系统。本系统对原软件系统做了大量的改进,进一步完善了原系统的测量功能,设计了边界提取算法、手动测量、尺寸检测、角度测量及超屏幕尺寸测量方法,解决了测量方式单一的问题,使其成为一套通用的检测系统。提出一种新的采用可移动坐标检测方案,设计了测长度、测圆和测角度坐标3种不同的测量坐标系,对各测量坐标系所适用的图像特征进行了阐述,并给出了3种坐标系的变换函数。在超屏幕尺寸测量技术中,关于二维光学显微工作台位移信号采集,采用了光栅尺来实现超屏幕尺寸测量,设计了光栅信号采集电路,分析研究了采集电路中的关键性问题,提出相应的解决方案,并讨论了工作台位移信号、图像数据与实际尺寸的关系;同时设计了电机驱动接口电路,为二维工作台自动测量奠定基础。本系统在使用可移动坐标法检测普通微小尺寸测量重复精度达到:测长度、测圆坐标系为±0.3μm,测角度坐标系为±2°。超屏幕尺寸测量重复精度±0.7μm(实验以1000μm以上的量块为标准)。图像处理测量直径重复精度为±0.1μm,角度测量精度为±0.5°。通过实验证明,该项技术可以运用到实际中。