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超声电机是20世纪80年代开始发展起来的一种微特电机。它利用压电材料的逆压电效应，使弹性体在超声频段内产生振动，通过定子、转子之间的摩擦获得运动和转矩，能够满足人们对微特电机提出的诸多新的要求，具有体积小、重量轻、结构紧凑、响应快、低噪声、无电磁干扰等优点，因而发展迅速应用日益广泛。近些年来，许多学者和研究机构都开始对超声电机进行理论和实验研究，并取得了丰硕的成果。本文搭建了超声电机微步进控制系统并进行了基本的实验研究，并把控制系统应用于显微镜的步进驱动机构，取得了良好的步进效果。全文主要工