随着经济和技术的发展，服务业在社会经济中所占的比例越来越大，服务逐渐成为企业重要的利润来源。学术界对服务业的研究也日趋广泛深入，服务补救便是近年来兴起的对服务管理研究的一个重要方向。　　在改革开放，引进外资的重要经济发展模式下，随着外商的投资，半导体产业在我国进入了快速发展的阶段，半导体设备产业也随之迅猛发展。半导体设备制造商之间竞争日益激烈，他们不止在产品技术上竞争，而且在服务上也不断发展和创新，以求为客户提供更优质的服务，提高客户满意度，与客户建立长久的战略关系。　　由于产品的售后服务具有区别于产品的特征，服务失败不可避免。服务企业必须要正确面对服务补救，研究服务补救，并根据本行业特点制定相应的服务补救策略。半导体设备行业服务的生产性服务特征，高技术性，高响应度的特征，导致服务补救难度大，过程复杂，而客户对服务补救要求较高。如何在服务补救中既能解决设备问题，又能兼顾客户关系的巩固和发展，就成为半导体设备行业服务业者必须要掌握的一项管理技能。　　本研究首先对半导体设备行业的高客户关系特征进行分析，结合客户关系对服务失败和服务补救的影响的相关理论，提出了以客户关系为导向的服务补救理念。然后对半导体行业的资本技术密集的特征，生产性服务特征，以及服务补救的高响应度特征进行了分析，提出了客户关系导向的半导体设备行业服务补救策略，即以技术和零备件的预应系统与客户抱怨管理系统相结合，以提高客户关系为最终目标的服务补救方式。　　本研究以SMIF公司为例对半导体设备行业的服务补救策略进行了研究。本研究提出的半导体设备行业的服务补救策略可以对半导体设备行业的服务设计和服务管理提供一定的借鉴和参考。