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近十年来,纳米二氧化钛因其在光催化方面的应用而得到了广泛的关注。在实际应用方面,其自清洁、分解水、杀菌等光催化性质已经应用到许多领域。本论文中我们以金属钛为靶,在氧气氛下脉冲激光沉积二氧化钛薄膜,所用的激光器是波长为248nm的KrF准分子激光器。在这种方法中,通过激光灼烧钛靶溅出的粒子与周围的氧气发生化学反应形成二氧化钛薄膜。然而,获得锐钛矿相薄膜的过程窗口是相当窄的,并且沉积参数对薄膜光学及光催化性质的影响尚未见报道。我们通过改变氧气压、沉积温度及激光能量,系统地研究了沉积参数对薄膜微