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13.5 nm极紫外辐射被认为是最有前景的下一代半导体光刻光源，13.5 nm极紫外辐射产生于激光烧蚀锡等离子体，提高激光的转换效率、降低等离子体碎屑是光源的关键技术。等离子体的电子温度、电子密度决定了其辐射特性，离子温度、离子密度决定了碎屑特性，因此研究激光烧蚀锡靶的具体过程具有非常重要的参考价值。本文使用一维辐射流体力学程序 MULTI模拟了脉冲激光照射期间，激光等离子体电子温度、电子密度、离子温度、离子密度、膨胀速度等参数的分布情况，讨论了靶材的种类、密度，激光脉冲的波长、能量、脉宽、拖尾等对等离子体辐射与碎屑特性的影响。 首先，介绍了辐射流体力学程序MULTI，随后模拟了脉冲CO2与Nd：YAG两种激光器烧蚀锡靶的具体过程，比较了两种等离子体的辐射与碎屑特性，发现靶材吸收激光的主要机制为逆韧致吸收，激光能量大部分沉淀在等离子体临界密度点附近，CO2与Nd：YAG激光器的临界电子密度分别约为1019 cm-3和1021 cm-3，因此Nd：YAG激光器形成了一种高温、高密等离子体，这加剧了极紫外再吸收与电子-离子复合过程，所以脉冲CO2激光器的转换效率与光谱纯度更高，更有利于极紫外辐射的产生。 由于脉冲CO2激光在激光等离子体极紫外光源应用上的优势，论文主要研究了脉冲CO2激光等离子体的特性，首先对脉冲CO2激光烧蚀锡靶与氙靶等离子体进行了模拟，发现氙等离子体电子温度更高，辐射中心波长更短。 再次，模拟了脉冲CO2激光烧蚀不同密度锡靶的过程，发现降低靶材初始密度不会改变激光的吸收机制与等离子体的主要参数，因此不会改变 EUV辐射与碎屑特性。 最后，研究了 CO2激光的功率密度、脉宽、拖尾等对锡等离子体特性的影响。高功率CO2激光器能提高电子温度，从而提高极紫外辐射的强度，并且不降低辐射谱纯度；长脉宽CO2激光器能延长极紫外辐射时间，从而提高紫外辐射的强度，并且不降低转换效率。虽然高功率、长脉宽的CO2激光器会增加碎屑的产量，但是碎屑可以通过电磁场、缓冲气体、降低靶材尺寸等方法有效除去，因此高功率、长脉宽的CO2激光器更有利于极紫外辐射，峰值功率的参考值为1010 W/cm2，脉宽的参考值为300 ns。