移相干涉仪中主动抗振及电器集成控制技术研究

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【摘要】

：

移相干涉术是一种高精度、高灵敏度的光学测试方法，极易受外界振动的影响，为解决光干涉测试中的振动问题，本文在比较了国内外干涉抗振技术后，提出了采用光外差干涉测量振动，以PZT为振动补偿元件的主动抗振方案；详细讨论了抗振方案的原理、电路系统的设计制作、DSP的程序编制；最后进行了抗振实验。实验表明在50Hz·λ以下的振动条件下，电路系统能在驱动PZT进行振动补偿的同时实现移相，计算结果和没有振动时一致

【作者】

：

姬会东

【机构】

：

南京理工大学

【发表日期】

：

2004年01期

【关键词】

：

移相干涉术光外差干涉抗振 DSP 集成控制

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