直线型超声电机驱动的精密定位平台运动控制系统的研究

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精密定位技术的先进与否是衡量一个国家制造业综合实力的标志之一,对其研究具有较大的应用价值。为使精密定位平台达到微米或亚微米定位精度,必须对其驱动与运动控制算法进行深入的探讨。本文针对直线型超声电机驱动的精密定位平台的特点,设计了运动控制系统,并对运动控制系统的性能进行了分析及实验研究,主要完成了以下几个方面的工作:(1)由压电陶瓷材料的压电效应入手,分析驱动平台的蝶形直线超声电机的运行机理,由运行机理得出电机的三种速度控制方式。对三种控制方式比较后,选取调频调速作为系统的速度控制方式。
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