随着LED行业的快速发展,对半导体后封装设备的性能也提出了越来越高的要求,用于半导体后封装中引线键合机的超声键合系统的工作性能成了关键因素之一。超声波发生器作为超声键合系统中超声波换能器的驱动源,因此也起着很重要的作用。针对传统超声波发生器的功能单一以及超声波换能器工作时频率漂移等问题,利用ARM9微处理器的廉价高效性能以及DDS的可编程性,实现了多种频率发生和自动调频锁相功能,从而能根据不同换能器调节发生器频率,使其动态处于谐振状态,保证输出功率处于高效状态。具体的内容如下:首先对系统的电源、时钟、复位和D/A转换、功率放大,信号采集等电路进行设计。用C语言在ARM平台上实现按键调试模块、LCD显示模块、自动频率补偿模块等软件设计。使用示波器对超声波发生器的工作信号进行采集,并对超声波发生器所驱动的换能器空载时的电流进行采集,分析论证整个系统的性能和可行性,在引线键合设备上进行试用,验证键合结果。并对数字超声波发生器的应用作了分析展望。本文针对实习公司的要求而设计,其优势或创新点为:实现数字化控制超声波产生以及动态频率补偿;成本低,可移植性强,后续开发空间大;功能强大且可应用于多种超声波换能器。