【摘 要】
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钙钛矿型锰氧化物因其CMR等物理性质及巨大的应用潜能而被广泛研究。本文采用固相反应法制作了La_(0.67)Ca_(0.33)Mn_(1-x)Fe_xO_3固相靶材，单向性好，是典型的钙钛矿型结构，靶材为正交结构。薄膜样品由DPS-Ⅲ型超高真空对靶磁控溅射仪在LAO(100)、MgO(100)上来制作，主要参数为：基片温度为780℃、Ar与O_2比为4：1、溅射功率为200W。La_(0.67)C
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钙钛矿型锰氧化物因其CMR等物理性质及巨大的应用潜能而被广泛研究。本文采用固相反应法制作了La_(0.67)Ca_(0.33)Mn_(1-x)Fe_xO_3固相靶材，单向性好，是典型的钙钛矿型结构，靶材为正交结构。薄膜样品由DPS-Ⅲ型超高真空对靶磁控溅射仪在LAO(100)、MgO(100)上来制作，主要参数为：基片温度为780℃、Ar与O_2比为4：1、溅射功率为200W。La_(0.67)Ca_(0.33)Mn_(0.9)Fe_(0.1)O_3/MgO薄膜样品中可能出现了亚铁磁相，从而
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