针对陶瓷手机面盖平面砂轮磨削工艺存在磨削力不均匀造成磨削表面粗糙度不均、磨削刀痕严重、残余应力较大导致陶瓷材料损耗、磨削砂轮无法完全加工侧壁凸面,因此造成需要多个加工工序、加工效率低下、加工成本高和成品率低等问题,本文将超声加工技术应用到陶瓷平面磨削加工中,利用超声带来的高频振动带动磨料颗粒划擦、挤压、切削、碰撞以达到高效率去除陶瓷材料的目的。本文以手机陶瓷面盖为加工对象,设计了专用于陶瓷平面磨削的超声振子,在普通超声平面磨削加工方式下进行了磨削工具头的创新设计,并利用Comsol对振子进行仿真、阻抗分析仪和示波器进行性能测试;搭建了超声平面陶瓷磨削平台,并通过试验探究加工间距、磨料粒径、加工进给速度、激励电压、磨料粒径等对陶瓷表面粗糙度的影响,优化工艺参数。主要工作和结果如下:（1）通过推导变截面细杆的频率方程公式,并根据超声频率和波长的需求运用频率方程计算换能器、变幅杆长度。根据手机面盖的内部形状进行分析并设计出适用于平面磨削加工的工具头,建立流体模型对在具有微结构工具头的激励下磨料悬浮液的流场和声场进行耦合分析,并验证工具头的效率并完成振子的组装和调试超声振子的水平位置高度;（2）利用Comsol对超声振子进行模态分析检测换能器和变幅杆设计的合理性和误差,分析其外形是否会对振子产生严重影响效果,修正了法兰盘的位置和厚度,模拟设计的超声振子谐振频率和振型并与设计的振子进行一致性分析;利用谐响应分析在静电激励的条件下,压电陶瓷片的压电性能由电能和机械振动能的转化效果,并分析转化成超声振动与预期的振动趋势差;使用阻抗分析测试振子的阻抗性能和对振子进行超声电源的电容、电感匹配;利用示波器测试振子输入电压和电流的幅值、利用激光位移传感器测试振子的纵向位移量,并分析超声激励电压对振子的影响效果,得出电压对超声振子振幅影响曲线图,并判断振子的振动稳定性,为进行超声平面磨削试验提供保障。（3）进行超声平面陶瓷磨削工艺试验:设计了关于进给速度、加工间距、磨料粒径的单因素试验,并对各影响因素的差异效果进行了对比分析得出了最佳加工间距范围为20-40μm、最佳进给速度范围为0.3-0.5mm/min、最符合条件的磨料粒径是15目。（4）设计了关于超声平面陶瓷磨削的正交试验,对粗糙度进行极差和方差分析,得出各因素对超声平面陶瓷磨削的影响效果,其中加工间距和激励电压对磨削力影响显著,加工速度对面偏差度的影响显著,得到了最优试验参数为最佳的试验参数在磨料粒径15目、加工间距20μm、激励电压90V、加工速度0.5mm/min。