随着科学技术和工业水平的持续提高，大家对工业机器人的各项性能要求越来越高，所以对机器人进行多目标性能优化具有十分重要的意义。为了改善一种应用于硅片传输的类SCARA支链嵌套并联机器人的各项性能，本文对该并联机器人进行了性能分析以及多目标性能优化。　　首先，本文介绍了类SCARA支链嵌套并联机器人多目标性能优化的研究背景，概述了并联机器人、并联机器人性能分析和多目标优化算法的研究现状，论述了本文的研究意义并简述了本文的主要研究内容。　　其次，对类SCARA支链嵌套机器人进行了运动学和动力学分析。求解机器人雅克比矩阵，采用拉格朗日方法得到其动力学方程，并根据其几何误差对末端输出矢量的影响，建立几何误差模型。通过理论分析，得到了机器人工作空间、全域条件指标、固有频率和误差影响系数四个评价该机器人机构性能的指标。　　最后，在该支链嵌套机器人性能分析的基础上，对四个性能指标进行多目标优化。确定其优化目标、优化变量和优化约束条件，建立多目标优化模型。利用基于BP神经网络算法的多目标遗传算法进行优化计算，并用遗传算法优化网络结构，来提高其预测精度，减少运算时间。编写MATLAB优化函数、设置优化参数，对优化模型进行求解计算，通过比较优化前后的性能指标，证明优化的有效性。采用ADAMS进行运动学仿真，比较其优化前后的数据图，以更直观的证明优化后机器人性能得到提高。