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首先介绍泰曼棱镜干涉仪及双楔干涉差动测角原理，在此基础上讨论了以双参考反射镜替代棱镜而构成泰曼双楔等厚干涉小角度精密测量仪的原理及特点
泰曼双楔等厚干涉小角度精密测量原理
【摘 要】
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首先介绍泰曼棱镜干涉仪及双楔干涉差动测角原理，在此基础上讨论了以双参考反射镜替代棱镜而构成泰曼双楔等厚干涉小角度精密测量仪的原理及特点
【机 构】
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安徽建筑工业学院基础部,安徽机电学院
【出 处】
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安徽建筑工业学院学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年1期
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