【摘 要】
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室温下,通过直流磁控反应溅射在石英衬底上制备一系列钼掺杂氧化锌薄膜。分别采用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、分光光度计及拉曼光谱仪研究了钼掺杂浓度对氧化锌薄膜结构
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代系统光学重点实验室
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划(863计划)项目(2013AA030602);上海市自然科学基金项目(13ZR1427800);国家自然科学基金项目(61176085)资助
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室温下,通过直流磁控反应溅射在石英衬底上制备一系列钼掺杂氧化锌薄膜。分别采用X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）、分光光度计及拉曼光谱仪研究了钼掺杂浓度对氧化锌薄膜结构、表面形貌、光学性能和表面等离子体特性的影响。XRD测试结果表明,零掺杂氧化锌薄膜结晶良好,呈c轴择优取向,掺杂后薄膜缺陷增多,结晶质量下降,当掺杂浓度达到3.93 Wt%时,薄膜由c轴择优取向的晶态转变为非晶态。AFM测试结果表明非晶态掺钼氧化锌薄膜表面光滑,粗糙度最低可达489 pm。透射光谱表明所有薄膜样品在可见光范围（400
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