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本文研究平行平面穿通结击穿电压的计算，首先根据电离率积分方程得出以归一化外延层厚度为变量的穿通结击穿电压拟合表达式，然后以此为基础，比较了另两种解析方法计算穿通结击穿电压的结果，分析表明：校正临界电场法可给出与率积分模式一致的击穿电压，而经典鉴电场法将导致较大的误差。
平等平面穿通结穿电压的计算及比较
【摘 要】
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本文研究平行平面穿通结击穿电压的计算，首先根据电离率积分方程得出以归一化外延层厚度为变量的穿通结击穿电压拟合表达式，然后以此为基础，比较了另两种解析方法计算穿通结击穿
【机 构】
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北京大学微电子学研究所
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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2001年5期
【基金项目】
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国家重点基础研究专项经费资助! (G2 0 0 0 0 365)
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