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MILC超薄沟道多晶硅薄膜晶体管
金属诱导横向结晶技术制备的多晶硅薄膜具有晶粒尺寸大且不随薄膜厚度而减小的特点,本文根据这一特点提出利用超薄沟道结构提高薄......
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金属诱导结晶
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