应用于ZnS、ZnSe和硫系玻璃表面的类金刚石膜研究进展

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类金刚石膜(Diamond-like Carbon film,DLC)硬度高,摩擦系数小,抗摩擦磨损和化学腐蚀能力强,同时在中远红外波段有良好的透过性能,用于红外窗口表面,可以起到良好的增透和物理防护效果。本文总结了近十年来应用于ZnS、ZnSe和硫系玻璃表面DLC膜的研究进展,展示了DLC膜在红外领域的应用前景,为红外DLC膜的进一步应用和发展提供借鉴。
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