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在给定斯特列耳比S(超分辨模型和爱里模型最大亮度比)和分辨率参数G(用滤波器时和不用滤波器时系统横向光强第一极小值之比)的条件下设计三区位相型光瞳滤波器,用来提高系统横向分辨率.考虑到强烈的旁瓣效应,把位相型滤波器应用于共焦扫描显微系统,提高了分辨率.
实现横向超分辨率的位相型光瞳滤波器
【摘 要】
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在给定斯特列耳比S(超分辨模型和爱里模型最大亮度比)和分辨率参数G(用滤波器时和不用滤波器时系统横向光强第一极小值之比)的条件下设计三区位相型光瞳滤波器,用来提高系统
【机 构】
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西安电子科技大学
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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2004年3期
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