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采用溶胶-凝胶法在P型单晶硅的表面镀上一层纳米二氧化硅薄膜，应用表面光电压谱(SPS)、漫反射光谱(DRS)和傅里叶红外光谱（FTIR）研究其室温下的光伏、光吸收特性.结果表明:在单晶硅表面镀上一层纳米二氧化硅薄膜后，漫反射吸收系数F(R)比单晶硅提高了约50%，相应的光电压信号提高了约两个数量级.在400～800℃热处理温度范围内随着温度的升高，纳米复合材料SiO2/Si的光伏效应增强，红外光谱中的Si-O键振动吸收峰降低，二氧化硅薄膜中欠氧状态加剧.